Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Structure and properties of ${Al-Cu-Fe}$ thin films deposited by PLD technique — Struktura i właściwości cienkich warstw ${Al-Cu-Fe}$ wytwarzanych techniką PLD / Sławomir KĄC, Małgorzata Kąc // Inżynieria Materiałowa ; ISSN 0208-6247. — 2010 — R. 31 nr 3, s. 382–385. — Bibliogr. s. 385
Autorzy (2)
- AGHKąc Sławomir
- Kąc Małgorzata
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 52627 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2010-07-26 |
| Rok publikacji | 2010 |
| Typ publikacji | artykuł w czasopiśmie |
| Otwarty dostęp | |
| Czasopismo/seria | IM Inżynieria Materiałowa = Materials Engineering |
Abstract
In this paper the results of the investigations of Al-Cu-Fe thin films obtained by PLD technique are presented. The films were deposited using different parameters of process (e.g. substrate temperature, laser fluence). The morphology and chemical composition of obtained surface layers was examined. In the frames of the investigations the thickness measurements, the nanohardness and adhesion tests of the Al-Cu-Fe layers was performed.
Streszczenie
W publikacji przedstawiono wyniki badań cienkich warstw Al-Cu-Fe wytwarzanych techniką PLD. Cienkie warstwy były osadzane z zastosowaniem rożnych parametrów procesu (np. temperatura podłoża, gęstość energii wiązki lasera). Badano morfologię oraz skład chemiczny otrzymanych cienkich warstw. W ramach badań wykonano pomiary grubości, nanotwardości oraz testy adhezji do podłoża cienkich warstw Al-Cu-Fe.