Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
PLD technique – an application in surface engineering — Technika PLD – zastosowanie w inżynierii powierzchni / Jan KUSIŃSKI, Jan Bujak, Sławomir KĄC, Agnieszka RADZISZEWSKA // Inżynieria Materiałowa ; ISSN 0208-6247. — 2007 — R. 28 nr 3–4, s. 654–659. — Bibliogr. s. 659, Abstr., Streszcz. — AMT 2007 : Advanced Materials & Technologies : XVIII Physical metallurgy and materials science conference : 18–21 June 2007, Warsaw, Poland. — Warszawa : Wydawnictwo Czasopism i Książek Technicznych SIGMA-NOT, 2007
Autorzy (4)
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 33874 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2007-08-14 |
| Rok publikacji | 2007 |
| Typ publikacji | referat w czasopiśmie |
| Otwarty dostęp |  |
| Czasopismo/seria | IM Inżynieria Materiałowa = Materials Engineering |
Streszczenie
W referacie przedstawiono zastosowanie techniki PLD w procesach wytwarzania cienkich warstw z różnych materiałów: DLC, AlCuFe, AlMg oraz Bi203. Badano wpływ podstawowych parametrów procesu ablacji laserowej na strukturę i własności otrzymanych powłok. Przedstawione przykłady cienkich warstw DLC, Al-Cu-Fe, AlMg, jak również Y-Bi203 pokazują uniwersalność techniki PLD w wytwarzaniu różnego rodzaju powłok. W badaniach stosowano dwa typy laserów: excimerowy KrF oraz Q-switched NdYAG. Cienkie warstwy nanoszono na podłoże Si oraz stal. W badaniach struktury wytworzonych warstw zastosowano skaningowy i transmisyjny mikroskop elektronowy, mikroskopie sił atomowych oraz dyfrakcyjną analizę rentgenowską. Badania z wykorzystaniem mikroskopów elektronowych skaningowego oraz transmisyjnego wykazały, iż struktura otrzymanych warstw zależy od zawartości domieszki oraz parametrów procesu ablacji laserowej. O strukturze warstw DLC decydują rodzaj i ciśnienie gazu w komorze oraz gęstość energii wiązki laserowej. Badania wykazały, że temperatura podłoża wywiera silny wpływ na strukturę cienkich warstw Al-Cu-Fe oraz AlMg. Cienkie warstwy tlenku bizmutu domieszkowanego itrem wykazywały bardzo dobre przewodnictwo jonowe. W warstwach Bi203 wykazano obecność fazy a, natomiast w przypadku Y- Bi203 nanostrukturę złożoną z ? i ß oraz dobre przewodnictwo elektryczne.
Abstract
In the paper a PLD technique used for growth of DLC, AlCuFe, AlMg and Bi203 thin film materials has been described. The influence of ablation process basic parameters on the coatings structure and properties is discussed. The included examples of DLC, Al-Cu-Fe, AlMg and Y-Bi203 thin films show versality of the PLD technique in production of such materials. Two types of laser ablation equipment have been applied: one equipped with a KrF excimer and second with an Q-switched Nd:YAG. The films were deposited on Si and steel substrates. Scanning and transmission electron microscopy, AFM, as well as, x-ray diffraction have been used for structural analysis. Research showed that in case of DLC coatings working atmosphere in the chamber and the laser beam fluency influenced strongly the coating structure. Substrate temperature influences the morphology of Al-Cu-Fe and AlMg thin films. In case of pure bismuth oxide deposition, both TEM and X-ray examinations revealed that at applied experimental conditions only a - Bi203 (not 8 - Bi203) crystals were formed during ablation process. Microstructural TEM examinations revealed high grain refinement in Y- Bi203 thin films. Preliminary measurements show also high electrical conductivity level in the case of this oxide.
