Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Spektroskopia elektronów Augera (AES) w badaniach wzrostu cienkich warstw na przykładzie warstw $Co/Cu$ na $Si(100)$ — [Auger Electron Spectroscopy (AES) in thin film growth investigation for $Co/Cu$ on $Si(100)$] / J. Jaworski, M. Marszałek, K. MARSZAŁEK, M. Kąc // Prace Naukowe / Politechnika Warszawska . Elektronika ; ISSN 0137-2343. — 2002 — z. 143, s. 73–78. — Bibliogr. s. 78, Summ. — Techniki próżni i technologie próżniowe : wybrane materiały VI [szóstej] krajowej konferencji techniki próżni i VII [siódmego] polsko-białoruskiego sympozjum technologii próżniowych / PW. — Warszawa : Oficyna Wydawnicza PW, 2002
Autorzy (4)
- Jaworski Jacek
- Marszałek Marta
- AGHMarszałek Konstanty
- Kąc Małgorzata
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 13246 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2003-05-19 |
| Rok publikacji | 2002 |
| Typ publikacji | referat w czasopiśmie |
| Otwarty dostęp |  |
| Czasopismo/seria | Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej, Elektronika |
Abstract
In this paper we have investigated the growth of components Co/Cu multilayers and different buffer layers (Cu,Pb) on the Si (100) substrate using peak-to-peak method of Auger Electron Spectroscopy. We have observed that even so simple systems like single Co and single Cu layers on Si substrate show a very complicated type of growth, which changes with the thickness of evaporated metal. During growth of Co/Cu multilayers on the Cu buffer, disposition of Co results in coarsening of the system surface. In contrary, Cu desposition leads to the increase of the surface roughness. The Pb buffer layer complicates the structure of the system. Segregation of the Pb to the surface of the sample can result in the formation of metal precipitates. Peak-to-peak method brings valuable information about type of the metal growth, and proposed normalization method allows a proper interpretation of results. However, it does not apply to metals that segregate to the system surface.
