Szczegóły publikacji

Opis bibliograficzny

On the correlation between the chemical composition of the amrophous $a-Si_{x}C_{y}N_{z}(H)$ layers deposited by PACVD and their band gap / Stanisława KLUSKA, Janusz Jaglarz, Maria JURZECKA-SZYMACHA, Tomasz STAPIŃSKI, Barbara SWATOWSKA, Katarzyna TKACZ-ŚMIECH // W: MicroTherm 2015 [Dokument elektroniczny] : Microtechnology and Thermal Problems in Electronics : June 23rd – June 25th 2015, Lodz, Poland : official proceedings / ed. Jacek Podgórski. — Wersja do Windows. — Dane tekstowe. — Lodz : Lodz University of Technology, cop. 2015. — Dysk Flash. — e-ISBN: 978-83-932197-3-5. — S. 31–35. — Wymagania systemowe: Adobe Reader. — Bibliogr. s. 34–35, Abstr.

Autorzy (6)

Słowa kluczowe

specroscopic ellipsometryband gapPACVDamorphous a-SixCyNz(H) layersoptical constants

Dane bibliometryczne

ID BaDAP90940
Data dodania do BaDAP2015-07-22
Rok publikacji2015
Typ publikacjimateriały konferencyjne (aut.)
Otwarty dostęptak
KonferencjaMicrotechnology and Thermal Problems in Electronics

Publikacje, które mogą Cię zainteresować

fragment książki
#90946Data dodania: 22.7.2015
On the correlation between the chemical composition of the amorphous $a-Si_{x}C_{y}N_{z}(H)$ layers deposited by PACVD and their band gap / Janusz Jaglarz, Maria JURZECKA-SZYMACHA, Stanisława KLUSKA, Tomasz STAPIŃSKI, Barbara SWATOWSKA, Katarzyna TKACZ-ŚMIECH // W: SENM 2015 [Dokument elektroniczny] : Smart Engineering of New Materials : 22–25 June 2015 Lodz, Poland : abstract book. — Wersja do Windows. — Dane tekstowe. — [Lodz : s. n.], [2015]. — Dysk Flash. — S. [1]. — Wymagania systemowe: Adobe Reader
SzczegółyLink
artykuł
#96701Data dodania: 10.3.2016
The chemical composition and band gap of amorphous Si:C:N:H layers / Barbara SWATOWSKA, Stanisława KLUSKA, Maria JURZECKA-SZYMACHA, Tomasz STAPIŃSKI, Katarzyna TKACZ-ŚMIECH // Applied Surface Science ; ISSN 0169-4332. — Tytuł poprz.: Applications of Surface Science. — 2016 — vol. 371, s. 91–95. — Bibliogr. s. 95, Abstr. — Publikacja dostępna online od: 2016-02-27
SzczegółyLink