Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
System sterowania i kontroli nanoszenia warstw w próżniowym urządzeniu typu śluzowego — [Microprocesor-controlled unit for coating deposition with load lock] / Waldemar Gzyl, Dariusz Franczyk, Mieczysław JACHIMOWSKI, Mariusz SOKOŁOWSKI, Halina CZTERNASTEK // W: ELTE'2000 : technologia elektronowa : VII konferencja naukowa : Polanica Zdrój, 18–22 września 2000 : materiały konferencyjne, T. 2. — Wrocław : Instytut Techniki Mikrosystemów Politechniki Wrocławskiej, 2000. — S. 1000–1003. — Bibliogr. s. 1003
Autorzy (5)
- Gzyl Waldemar
- Franczyk Dariusz
- AGHJachimowski Mieczysław
- AGHSokołowski Mariusz
- AGHCzternastek Halina
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 6900 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2001-11-14 |
| Rok publikacji | 2000 |
| Typ publikacji | materiały konferencyjne (aut.) |
| Otwarty dostęp |