Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Sposób wywoływania wzorów precyzyjnych struktur grubowarstwowych i urządzenie do wywoływania wzorów precyzyjnych struktur grubowarstwowych — [Method for generation of precision thick-layer structure patterns and equipment for generating precision thick-layer structure patterns] / Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa ; wynalazca: DZIURDZIA Barbara, Cież Michał, MAGOŃSKI Zbigniew, NOWAK Stanisław. — Int.Cl.7: C25D 3/00. — Polska. — Opis zgłoszeniowy wynalazku ; PL362452A1 ; Opubl. 2005-04-04. — Zgłosz. nr P.362452 z dn. 2003-09-26 // Biuletyn Urzędu Patentowego. — 2005 — nr 7, s. 77
Autorzy (4)
- Dziurdzia Barbara
- Cież Michał
- Magoński Zbigniew
- Nowak Stanisław
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 45273 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2009-05-21 |
| Tekst źródłowy | URL |
| Rok publikacji | 2005 |
| Typ publikacji | zgłoszenie patentowe |
| Otwarty dostęp |  |
| Czasopismo/seria | Biuletyn Urzędu Patentowego |
Streszczenie
Sposób wywoływania wzorów precyzyjnych struktur grubowarstwowych charakteryzuje się tym, że podłoża z nałożoną warstwą światłoczułą po uprzednim naświetleniu umieszcza się na stoliku wirówki, który to stolik obraca się z prędkością obrotową w zakresie od 50 do 500 obrotów na minutę, a następnie opłukuje się podłoża, z nałożoną kompozycją, strumieniem zimnych par w postaci mgły roztworu wywołującego, przy czym korzystnie zimne pary roztworu wywołującego uderzają o podłoża z naniesioną warstwą światłoczułą ze znaczną prędkością, którą uzyskuje się dzięki zastosowaniu odpowiedniej dyszy zapewniającej wytworzenie strumienia zimnych par w kształcie długiej wąskiej kurtyny ustawionej radialnie w stosunku do osi obrotu stolika. Urządzenie do wywoływania wzorów precyzyjnych struktur grubowarstwowych ma co najmniej jeden generator mgły (1), który składa się z cylindra (2) z umieszczonym w jego dnie przetwornikiem ultradźwiękowym (3), który z kolei połączony jest z generatorem wielkiej częstotliwości (4), ponadto cylinder (2) ma wejście sprężonego gazu (5) którego wyjście umiejscowione jest w dolnej części wewnątrz cylindra oraz ma w górnej części cylindra (2) wyprowadzenie mgły w postaci kanału prowadzącego lub węża o dużej średnicy (6) zakończonego dyszą szczelinową (7), ponadto stolik obrotowy osłonięty jest miską ściekową (8) wyposażoną w dren (9) oraz kanał odprowadzający nieskondensowaną mgłę (10).