Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Cienkie warstwy ${\beta-Al-Mg}$ nakładane techniką ablacji laserowej — Thin films ${\beta-Al-Mg}$ deposited using the laser ablation technique / Agnieszka RADZISZEWSKA // Inżynieria Materiałowa ; ISSN 0208-6247. — 2008 — R. 29 nr 6, s. 560–563. — Bibliogr. s. 563, Streszcz., Abstr. — INPO2008 : Inżynieria Powierzchni = Surface Engineering : Wisła–Jawornik, 2–5.XII.2008 / pod red. Leopolda Jeziorskiego, Zygmunta Nitkiewicza, Józefa Jasińskiego. — Katowice : Wydawnictwo SIGMA-NOT, 2008
Autor
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 42448 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2009-01-08 |
| Rok publikacji | 2008 |
| Typ publikacji | referat w czasopiśmie |
| Otwarty dostęp |  |
| Czasopismo/seria | IM Inżynieria Materiałowa = Materials Engineering |
Abstract
In this work, the PLD technique was used to grow AlMg thin films from a B- Mg2Al3 target with nominal composition 39.09 wt. % Mg and 60.91 wt. % Al. In the paper the study of B-Mg2Al3 thin films deposited using the pulsed laser deposition are carried out. The AlMg thin films were prepared on Si (100) substrates and deposited by using a QS-Nd:YAG laser (^ = 355 nm). The samples were performed with laser beam energy density (1,87 J/cm2) and with four different substrate (Si) temperatures: 100°C, 150°C, 200°C and 300°C. As results of influence of the laser irradiation, the target possessed higher roughness and took place the changes of the chemical composition. The variations of structure and chemical composition of the deposited thin films are also discussed. Structure and chemical composition investigations showed that the films possess the droplets, nanocrystalline structure and in some cases with porosity. Whereas the quantity of Al and Mg varied in the films, while different substrate temperature was applied.
Streszczenie
W artykule przedstawiono strukturę oraz skład chemiczny cienkich warstw Al-Mg osadzanych techniką ablacji laserowej. Jako materiał wyjściowy (tarcza) wykorzystano stop ß-Mg2Al3 o składzie chemicznym: 39,09% at. Mg i 60,91% at. Al. Warstwy były nakładane za pomocą lasera QS-Nd:YAG (^ = 355 nm) na podłoże Si <100>. Do ich wytworzenia zastosowano gęstość energii wiązki laserowej (q) równą 1,87 J/cm2 oraz różną temperaturę podłoża krzemowego: 100°C, 150°C, 200°C i 300°C. W wyniku oddziaływania promieniowania laserowego na powierzchnię tarczy, zwiększyła się jej chropowatość oraz skład chemiczny. W pracy przedstawiono zmiany struktury oraz składu chemicznego uzyskanych warstw w zależności od zastosowanej temperatury podłoża Si. Badania strukturalne ujawniły występowanie kropli oraz por w nanokrystalicznych warstwach. Natomiast zmiana temperatury podłoża prowadziła do zmian zawartości Al i Mg w warstwach, w porównaniu z materiałem wyjściowym.
