Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Sterowanie radiacyjnym transportem energii cieplnej w próżniowych systemach do wytwarzania materiałów fotowoltaicznych — [Radiative heat transfer steering in vacuum systems for manufacturing photovoltaic materials] / H. JANKOWSKI, M. SZCZURKOWSKI, T. PISARKIEWICZ, M. WARZECHA, C. WOREK // Prace Naukowe / Politechnika Warszawska. Elektronika ; ISSN 0137-2343. — 2005 — z. 153, s. 137–140. — Bibliogr. s. 140, Summ. — Wybrane materiały VII krajowej konferencji techniki próżni : technika próżni i technologie próżniowe : 18–21 września 2005 r., Cedzyna / Politechnika Warszawska. — Warszawa : Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej, 2005. — Opis częśc. wg wstępu i okł.
Autorzy (5)
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 27619 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2006-06-01 |
| Rok publikacji | 2005 |
| Typ publikacji | referat w czasopiśmie |
| Otwarty dostęp |  |
| Czasopismo/seria | Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej, Elektronika |
Abstract
The Rapid Thermal processing is a promising technique to produce high quality semiconducting (eg, CulnSe(2)) thin film. The laboratory RTP system for a method denoted infrared spiking rapidly inserting and withdrawing sample wafers in horizontal furnace was built. The Matlab/Simulink model of the object was proposed to perform temperature control requirements. We demonstrate the model based steering (MBS) of sample holder position as well as heater temperature and horizontal temperature gradient of the furnace.
