Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Potokowe i wsadowe systemy w praktyce przemysłowej — [Batch and in-line system in industrial applications] / E. LEJA, K. MARSZAŁEK // Prace Naukowe / Politechnika Warszawska. Elektronika ; ISSN 0137-2343. — 2005 — z. 153, s. 125–131. — Bibliogr. s. 131, Summ. — Wybrane materiały VII krajowej konferencji techniki próżni : technika próżni i technologie próżniowe : 18–21 września 2005 r., Cedzyna
Autorzy (2)
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 26162 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2006-02-21 |
| Rok publikacji | 2005 |
| Typ publikacji | referat w czasopiśmie |
| Otwarty dostęp |  |
| Czasopismo/seria | Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej, Elektronika |
Abstract
The description of the new in-line system for deposition of thin films on large area substrates is presented in the paper. Some details used for increasing productivity, like rotatable cylindrical magnetron are shown. Also several batch vacuum installations are reviewed. The construction of such coaters as well as its application in different industrial processes is discussed.