Szczegóły publikacji

Opis bibliograficzny

DFT study of metal precursor pulse in atomic layer deposition of Pt / Sylwia KLEJNA // W: ALD/ALE [Dokument elektroniczny] : AVS 24th international conference on Atomic Layer Deposition : 11th international Atomic Layer Etching workshop : August 4-7, 2024, Helsinki, Finland : book of abstracts. — Wersja do Windows. — Dane tekstowe. — [USA : AVS], [2024]. — S. 36. — Wymagania systemowe: Adobe Reader. — Tryb dostępu: https://ald2024.avs.org/wp-content/uploads/2024/04/Abstract-B... [2024-10-07]

Autor

Dane bibliometryczne

ID BaDAP155823
Data dodania do BaDAP2024-10-31
Rok publikacji2024
Typ publikacjimateriały konferencyjne (aut.)
Otwarty dostęptak

Publikacje, które mogą Cię zainteresować

fragment książki
#155826Data dodania: 31.10.2024
The role of the oxidizing Co-reactant in Pt growth by atomic layer deposition using $MeCpPtMe_3$ and $O_2/O_3/O_2$-plasma / Jin Li, S. KLEJNA, M. Minjauw, J. Dendooven, C. Detavernier // W: ALD/ALE [Dokument elektroniczny] : AVS 24th international conference on Atomic Layer Deposition : 11th international Atomic Layer Etching workshop : August 4-7, 2024, Helsinki, Finland : book of abstracts. — Wersja do Windows. — Dane tekstowe. — [USA : AVS], [2024]. — S. 117–118. — Wymagania systemowe: Adobe Reader. — Tryb dostępu: https://ald2024.avs.org/wp-content/uploads/2024/04/Abstract-B... [2024-10-07]. — Bibliogr. s. 118
SzczegółyLink
fragment książki
#155825Data dodania: 31.10.2024
Triggering nucleation of Pt ALD through UV-illumination / J. Santo Domingo Peñaranda, Jolien Dendooven, V. Miikkulainen, S. KLEJNA, E. Solano, M. Rosenthal, Z. Hens, C. Detavernier // W: ALD/ALE [Dokument elektroniczny] : AVS 24th international conference on Atomic Layer Deposition : 11th international Atomic Layer Etching workshop : August 4-7, 2024, Helsinki, Finland : book of abstracts. — Wersja do Windows. — Dane tekstowe. — [USA : AVS], [2024]. — S. 115–116. — Wymagania systemowe: Adobe Reader. — Tryb dostępu: https://ald2024.avs.org/wp-content/uploads/2024/04/Abstract-B... [2024-10-07]. — Bibliogr. s. 116
SzczegółyLink