Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Influence of the $SiN_{x}:H$ layer deposited by PECVD technique on the surface and grain boundary passivation of mc-Si / S. KLUSKA, P. Panek // W: IMAPS Poland 2015 [Dokument elektroniczny] : 39th International Microelectronics and Packaging conference : Gdańsk, 20–23 September, 2015. — Wersja do Windows. — Dane tekstowe. — [Gdańsk : s. n.], [2015]. — Dysk Flash. — S. [1–9]. — Wymagania systemowe: Adobe Reader. — Bibliogr. s. [8–9], Abstr.
Autorzy (2)
- AGHKluska Stanisława
- Panek Piotr
Słowa kluczowe
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 95291 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2016-02-03 |
| Rok publikacji | 2015 |
| Typ publikacji | materiały konferencyjne (aut.) |
| Otwarty dostęp | |
| Konferencja | 39th International Microelectronics and Packaging |