Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Ocena wpływu strategii pomiaru geometrii elektrod na ustawienie narzędzia w ZSW — Impact assessment of strategy of electrode geometry measurements on tool settings in integrated systems producing / Halina NIECIĄG, Krzysztof ZAGÓRSKI, Rafał KUDELSKI // W: PPM'14 : Podstawowe Problemy Metrologii : [X konferencja] : Kościelisko, 15–18 czerwca 2014 / Polska Akademia Nauk. Oddział w Katowicach. — Katowice : Komisja Metrologii Oddziału PAN, 2014. — (Prace Komisji Metrologii Oddziału PAN w Katowicach. Seria: Konferencje ; nr 19). — ISBN: 978-83-930505-9-8. — S. 202–206. — Bibliogr. s. 206
Autorzy (3)
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 82415 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2014-07-15 |
| Rok publikacji | 2014 |
| Typ publikacji | materiały konferencyjne (aut.) |
| Otwarty dostęp |  |
| Czasopismo/seria | Prace Komisji Metrologii Oddziału PAN w Katowicach, Seria: Konferencje |
