Szczegóły publikacji

Opis bibliograficzny

Structure and optical properties of nitrogen-doped silicon and carbon layers deposited by PACVD / Ewa PIECZYŃSKA, Maria JURZECKA-SZYMACHA // W: EYEC monograph : 3rd European Young Engineers Conference : April 29–30th 2014, Warsaw / ed. Michał Wojasiński. — Warsaw : University of Technology. Faculty of Chemical and Process Engineering, cop. 2014. — Na okł. dod.: 100 lecie odnowienia tradycji Politechniki Warszawskiej. — ISBN: 978-83-936575-0-6. — S. 224–225

Autorzy (2)

Słowa kluczowe

RF PACVDellipsometryoptical filters

Dane bibliometryczne

ID BaDAP81300
Data dodania do BaDAP2014-05-16
Rok publikacji2014
Typ publikacjifragment książki
Otwarty dostęptak
KonferencjaEuropean Young Engineers Conference 2014

Publikacje, które mogą Cię zainteresować

fragment książki
#89045Data dodania: 15.5.2015
Thermo-optical parameters of amorphous a-C:N:H layers / E. BARANIAK, J. Jaglarz, K. MARSZAŁEK, K. TKACZ-ŚMIECH // W: EYEC monograph : 4th European Young Engineers Conference : April 27–29th 2015, Warsaw / ed. Michał Wojasiński, Bartosz Nowak ; Scientific Club of Chemical and Process Engineering. Faculty of Chemical and Process Engineering. Warsaw University of Technology. — Warsaw : University of Technology. Faculty of Chemical and Process Engineering, cop. 2015. — Na okł. dod.: 100 lecie odnowienia tradycji Politechniki Warszawskiej. — ISBN: 978-83-936575-1-3. — S. 360
artykuł
#87615Data dodania: 5.2.2015
Optical characteristics of $a-Si:H$ layers deposited by PACVD at various temperatures / Janusz Jaglarz, Maria JURZECKA-SZYMACHA, Katarzyna TKACZ-ŚMIECH, Bouchta Sahraoui // Optical Materials ; ISSN 0925-3467. — 2015 — vol. 39, s. 26–33. — Bibliogr. s. 33, Abstr.