Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Wpływ parametrów procesu PACVD na budowę i właściwości synergicznych układów $SiC_{x}N_{y}(H)/Ti$ — Influence of PACVD parameters on structure and properties of synergic $SiC_{x}N_{y}(H)/Ti$ system / Jadwiga KONEFAŁ, Anna MAŁEK, Stanisława KLUSKA, Stanisława JONAS, Sławomir ZIMOWSKI // Inżynieria Biomateriałów = Engineering of Biomaterials / Polskie Stowarzyszenie Biomateriałów ; ISSN 1429-7248. — 2010 — R. 13 nr 99–101, s. 93–97. — Bibliogr. s. 97. — Tekst pol.-ang.
Autorzy (5)
Słowa kluczowe
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 54265 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2010-10-27 |
| Tekst źródłowy | URL |
| Rok publikacji | 2010 |
| Typ publikacji | artykuł w czasopiśmie |
| Otwarty dostęp |  |
| Creative Commons | |
| Czasopismo/seria | Inżynieria Biomateriałów = Engineering of Biomaterials |
Streszczenie
Modyfikacja powierzchni tytanu i jego stopów, poprzez nanoszenie warstw technikami plazmowymi, uważana jest za jeden z najbardziej efektywnych i skutecznych sposobów poprawy ich parametrów użytkowych. W tej pracy przedstawiamy wyniki badań nad otrzymywaniem warstw węgloazotku krzemu SiCxNy(H) na podłożu Ti Grade 2 metodą chemicznego osadzania z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmy generowanej mikrofalami (MWCVD, 2,45 GHz, 2 kW). Warstwy o różnej zawartości Si, C i N osadzano przy użyciu reaktywnych mieszanin gazowych o odpowiednio dobranym stężeniu składników: SiH4, CH4, NH3. Otrzymane materiały poddano analizie składu i budowy atomowej z zastosowaniem technik SEM/EDS i FTIR. Oceny użytkowych właściwości synergicznych układów „warstwa – podłoże” dokonano w badaniach właściwości tribologicznych.
Abstract
Operational parameters of titanium biomaterials may be effectively improved by application of layers of given chemical composition deposited with application of plasma techniques. This work reports the results concerning formation of SiCxNy(H) layers on Ti Grade 2 substrate. The layers were formed in plasma assisted chemical vapor deposition (PACVD system) with application of microwave (MW) plasma (MWCVD technique, 2,45 GHz, 2 kW). The layers of various Si, C and contents were obtained from reactive gas mixture of SiH4, CH4, NH3 at various ratios. The samples were subjected to chemical composition studies with SEM-EDS technique. FTIR spectra were used in the description of atomic structure of the layers. Operational properties of synergic layer-substrate systems were evaluated in the measurements of tribological parameters.
