Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Układ do zasilania źródła magnetronowego urządzenia rozpylającego — [Source feeding system for a magnetron-type atomising device] / Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie ; wynalazca: LEJA Edward, MARSZAŁEK Konstanty. — Int.Cl.7: G05F 1/565. — Polska. — Opis zgłoszeniowy wynalazku ; PL346993A1 ; Opubl. 2002-10-21. — Zgłosz. nr P.346993 z dn. 2001-04-09 // Biuletyn Urzędu Patentowego. — 2002 — nr 22, s. 40
Autorzy (2)
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 37618 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2008-02-25 |
| Tekst źródłowy | URL |
| Rok publikacji | 2002 |
| Typ publikacji | zgłoszenie patentowe |
| Otwarty dostęp |  |
| Czasopismo/seria | Biuletyn Urzędu Patentowego |
Streszczenie
Wynalazek rozwiązuje problem zabezpieczenia źródła magnetronowego urządzenia rozpylającego przed wyładowaniami łukowymi zarówno w czasie jego rozruchu jak i normalnej eksploatacji przy nanoszeniu cienkich warstw metodą jonowego rozpylania. Układ zawierający prostownik (2) połączony ze źródłem magnetronowym (5) poprzez układ pomiarowo-porównujący prądu (3), do którego dołączony jest nastawnik prądu (4) charakteryzuje się tym, że wejście prostownika (2) połączone jest z siecią zasilającą poprzez transduktor (1), a wyjście układu pomiarowo-porównującego prądu (3) źródła magnetronowego (5) połączone jest poprzez regulator prądu (6) z elementem transduktora (1), regulującym wartość jego prądu podmagnesowującego.