Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Badania nad syntezą warstw tlenku ceru metodą MOCVD — Investigations on synthesis of cerium oxide layers by MOCVD method / Andrzej KWATERA, Agata SAWKA, Paweł ANDREASIK, Wiesław JUDA, Sylwester DUSZAK, Katarzyna CHOLEWA-KOWALSKA, Paweł Turski // Inżynieria Materiałowa ; ISSN 0208-6247. — 2006 — R. 27 nr 5, s. 1107–1109. — Bibliogr. s. 1109, Streszcz., Abstr. — „Nowoczesne technologie w inżynierii powierzchni” : III ogólnopolska konferencja naukowa : Łódź – Spała, 3–6 października 2006 : III krajowa konferencja = III domestic conference / pod red. Zbigniewa Gawrońskiego ; Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej PŁ, Polskie Towarzystwo Materiałoznawcze. — Warszawa : Wydawnictwo Czasopism i Książek Technicznych SIGMA NOT Spółka z o. o. — Protektorat konferencji J. M. Rektor PŁ Prof. dr hab. inż. Jan Krysiński. — Opis częśc. wg okł.
Autorzy (7)
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 30470 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2006-12-06 |
| Rok publikacji | 2006 |
| Typ publikacji | referat w czasopiśmie |
| Otwarty dostęp |  |
| Czasopismo/seria | IM Inżynieria Materiałowa = Materials Engineering |
Streszczenie
W pracy prowadzono badania nad syntezą warstw tlenku ceru na szkle kwarcowym metodą MOCVD przy użyciu acetyloacetonianu ceru a także tetrametyloheptanodionianu ceru. Jako gazu nośnego i rozcieńczalnika w jednym i drugim przypadku użyto powietrza oraz argonu. Tlen zawarty w powietrzu spełniał jednocześnie rolę nośnika par reagentów oraz utleniacza węgla i wodoru wydzielających się w trakcie pyrolizy tego związku. Temperatura powietrza była zbliżona do temperatury parowalnika, co zapobiegało kondensacji par Ce(acac)3 lub Ce(tmhd)4 w instalacji CVD. Temperaturę syntezy warstw zmieniano w zakresie 300-900°C. Ciśnienie gazów w reaktorze zmieniano zaś w zakresie 10-13x104 Pa. Natężenie przepływu argonu przez parowalnik wynosiło 0,08 mol/h, natomiast powietrza doprowadzanego do reaktora 0,4-8 mol/h. Temperaturę parowalnika zmieniano w zakresie temperatur 60 - 250°C. Parametry syntezy warstw dobierano tak, by wielkość wyrażenia Grx/Rex2 <0,001. Przeświecalność próbek bez i z warstwą tlenku ceru badano w ultrafiolecie i w świetle widzialnym. Badano mikrostrukturę warstw przy użyciu mikroskopu skaningowego oraz transmisyjnego. Przeprowadzono także analizę rentgenowską
Abstract
Investigations on synthesis of cerium oxide layers on quartz glass substrates by MOCVD method using cerium acetyloacetonate or cerium tetramethylheptanedionate. Argon and air were used as a carrier gases and (air was also source of oxygen.- necessary for elimination of carbon). Temperature of o air was close to temperature of evaporator. The temperature of the synthesis process was changed in the range of 300-900°C and the gases preasasure in the range of 10-13xl04 Pa. Magnitude of argon flow attained about 0,08 mol/h and and air flow 0,4-8 mol/h. The temperature of evaporator was changed from 60 to 250°C. Other parameters of the synthesis process were settled to assure the value of extended criterion Grx/Rex2<0,001. The transparency of obtained samples was tested. The microstructure of these layers was examined by scanning and transmission microscopy. X-ray analysis also was performed.
