Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Badania nad syntezą warstw tlenku ceru metodą MOCVD — Investigations on synthesis of cerium oxide layers by MOCVD method / Andrzej KWATERA, Agata SAWKA, Paweł ANDREASIK, Wiesław JUDA, Sylwester DUSZAK, Katarzyna CHOLEWA-KOWALSKA, Paweł Turski // Inżynieria Materiałowa ; ISSN 0208-6247. — 2006 — R. 27 nr 5, s. 1107–1109. — Bibliogr. s. 1109, Streszcz., Abstr. — „Nowoczesne technologie w inżynierii powierzchni” : III ogólnopolska konferencja naukowa : Łódź – Spała, 3–6 października 2006 : III krajowa konferencja = III domestic conference / pod red. Zbigniewa Gawrońskiego ; Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej PŁ, Polskie Towarzystwo Materiałoznawcze. — Warszawa : Wydawnictwo Czasopism i Książek Technicznych SIGMA NOT Spółka z o. o. — Protektorat konferencji J. M. Rektor PŁ Prof. dr hab. inż. Jan Krysiński. — Opis częśc. wg okł.
Autorzy (7)
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 30470 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2006-12-06 |
| Rok publikacji | 2006 |
| Typ publikacji | referat w czasopiśmie |
| Otwarty dostęp |  |
| Czasopismo/seria | IM Inżynieria Materiałowa = Materials Engineering |
Abstract
Investigations on synthesis of cerium oxide layers on quartz glass substrates by MOCVD method using cerium acetyloacetonate or cerium tetramethylheptanedionate. Argon and air were used as a carrier gases and (air was also source of oxygen.- necessary for elimination of carbon). Temperature of o air was close to temperature of evaporator. The temperature of the synthesis process was changed in the range of 300-900°C and the gases preasasure in the range of 10-13xl04 Pa. Magnitude of argon flow attained about 0,08 mol/h and and air flow 0,4-8 mol/h. The temperature of evaporator was changed from 60 to 250°C. Other parameters of the synthesis process were settled to assure the value of extended criterion Grx/Rex2<0,001. The transparency of obtained samples was tested. The microstructure of these layers was examined by scanning and transmission microscopy. X-ray analysis also was performed.
Streszczenie
W pracy prowadzono badania nad syntezą warstw tlenku ceru na szkle kwarcowym metodą MOCVD przy użyciu acetyloacetonianu ceru a także tetrametyloheptanodionianu ceru. Jako gazu nośnego i rozcieńczalnika w jednym i drugim przypadku użyto powietrza oraz argonu. Tlen zawarty w powietrzu spełniał jednocześnie rolę nośnika par reagentów oraz utleniacza węgla i wodoru wydzielających się w trakcie pyrolizy tego związku. Temperatura powietrza była zbliżona do temperatury parowalnika, co zapobiegało kondensacji par Ce(acac)3 lub Ce(tmhd)4 w instalacji CVD. Temperaturę syntezy warstw zmieniano w zakresie 300-900°C. Ciśnienie gazów w reaktorze zmieniano zaś w zakresie 10-13x104 Pa. Natężenie przepływu argonu przez parowalnik wynosiło 0,08 mol/h, natomiast powietrza doprowadzanego do reaktora 0,4-8 mol/h. Temperaturę parowalnika zmieniano w zakresie temperatur 60 - 250°C. Parametry syntezy warstw dobierano tak, by wielkość wyrażenia Grx/Rex2 <0,001. Przeświecalność próbek bez i z warstwą tlenku ceru badano w ultrafiolecie i w świetle widzialnym. Badano mikrostrukturę warstw przy użyciu mikroskopu skaningowego oraz transmisyjnego. Przeprowadzono także analizę rentgenowską
