Szczegóły publikacji
Opis bibliograficzny
Powtarzalność procesów chemicznego osadzania z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmy wyładowania 13,56 MHz na przykładzie warstw $a-C:N:H$ — [Repeatibility of plasma assisted chemical vapor deposition processes, 13.56 MHz, on example of $a-C:N:H$ layers] / Katarzyna KOPER // W: Dokonania naukowe doktorantów V : materiały konferencyjne – streszczenia wystąpień : materiały Konferencji Młodych Naukowców : dotyczy sesji: Warszawa 9.04.2017 oraz Kraków 22.04.2017 / oprac. Justyna Karkowska-Kuleta, Marcin Kuczera. — Kraków : CREATIVETIME, 2017. — ISBN: 978-83-63058-69-2. — S. 58. — Bibliogr. s. 58
Autor
Dane bibliometryczne
| ID BaDAP | 106144 |
|---|---|
| Data dodania do BaDAP | 2017-06-13 |
| Rok publikacji | 2017 |
| Typ publikacji | materiały konferencyjne (aut.) |
| Otwarty dostęp |  |