Brudnik Andrzej, dr hab. inż., prof. AGH

WIEiT-ke Instytut Elektroniki

Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji

automatyka, elektronika, elektrotechnika i technologie kosmiczne

100

Habilitacja: Diagnostyka i sterowanie procesem otrzymywania cienkich warstw techniką reaktywnego rozpylania magnetronowego
Wersja tytułu:: Diagnostic and control of thin films reactive magnetron sputtering process
Sygn.:: II 258430, II 258431
Wydział:: AGH Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji
Data uchwały Rady Wydziału:: 05.06.2014
Stopień naukowy:: dr hab. nauk technicznych
Dyscyplina:: elektronika
Słowa kluczowe:: rozpylanie katodowe; warstwy cienkie; rozpylanie magnetronowe